В.М. Квасниця. ОСОБЛИВОСТІ МОРФОЛОГІЇ КРИСТАЛІВ CVD АЛМАЗУ
https://doi.org/10.15407/mineraljournal.41.02.018
УДК 549.548.211
В.М. Квасниця1, І.В. Квасниця2, І.В. Гурненко1
1 Інститут геохімії, мінералогії та рудоутворення ім. М.П. Семененка НАН України
03142, м. Київ, Україна, пр-т Акад. Палладіна, 34
E-mail: vmkvas@hotmail.com
2 Київський національний університет імені Тараса Шевченка. Навчально-науковий інститут "Інститут геології"
03022, м. Київ, Україна, вул. Васильківська, 90
E-mail: ikvasnytsya@gmail.com
ОСОБЛИВОСТІ МОРФОЛОГІЇ КРИСТАЛІВ CVD АЛМАЗУ
Мова: українська
Мінералогічний журнал 2019, 41 (2): 18-25
Анотація:
Мікрокристали алмазу отримані з газу (С2Н2 і О2) за температури 600—1000 ºС і атмосферного тиску на підкладках із молібдену. Алмазні покриття зайняли площу діаметром 5 мм на кожній підкладці, швидкість росту кристалів алмазу становила 148—160 мкм/год. Виконано електронно-мікроскопічне дослідження синтезованих кристалів алмазу. Розмір алмазних кристалів складає переважно 5—30 мкм. Окремі багатогранники, їх прості та складні зростки мають розмір 30—50 мкм, а деякі агрегати — 200 мкм. Ріст алмазу відбувся із багатьох точок кристалізації. Алмаз представлений різними багатогранниками та їх зростками і агрегатами. Великі кристали мають кубічний і кубо-октаедричний габітус, вони знаходяться в центрі покриття. Дрібні кристали є октаедрами і кубо-октаедрами, вони часто утворюють циклічні двійники за шпінелевим законом. Ці кристали виросли на крайових частинах покриття. Незвичайними складними двійниками алмазу є ікосаедри. Установлено автоепітаксійний ріст алмазу. Виявлено морфологічні ознаки відмінності кристалів алмазу залежно від розташування місця кристалізації на поверхні підкладки відносно джерела живлення і часу росту. Морфологічні особливості вирощених кристалів CVD алмазу (безліч центрів кристалізації, розмаїтість морфології, груба шаруватість, часте утворення незакономірних зростків і двійників) свідчать про значне пересичення середовища вуглецем і швидкий ріст алмазу.
Ключові слова: алмазні плівки, мікрокристали алмазу, морфологія, багатогранники, прості і складні двійники, агрегати, CVD кристалізація.
Література:
- Asmussen J., Reinhard D.K. Diamond Films Handbook. CRC Press, 2002. 656 р.
- Breza J., Kadlečíková M., Vojs M., Michalka M., Veselý M., Daniš T. Diamond icosahedron on a TiN-coated steel substrate. Microelectronics J. 2004. 35, № 9. P. 709—712. doi: 10.1016/j.mejo.2004.06.020
- Gracio J.J., Fan Q.H., Madaleno J.C. Diamond growth by chemical vapor deposition. J. Physics D: Applied Physics. 2010. 43, № 37. Р. 374017—374038. doi: 10.1088/0022-3727/43/37/374017
- Hofmeister H. Shape variations and anisotropic growth of multiply twinned nanoparticles. Z. Kristallogr. 2009. 224, № 11. Р. 528—538. doi: 10.1524/zkri.2009.1034
- Hwang N.M. Non-Classical Crystallization of Thin Films and Nanostructures in CVD and PVD Processes. Springer, 2016. 332 р. doi: 10.1007/978-94-017-7616-5
- Kobashi K. Diamond Films: Chemical Vapor Deposition for Oriented and Heteroepitaxial Growth. Elsevier, 2010. 348 р.
- Kvasnitsa V.N., Zintchouk N.N., Koptil' V.I. Typomorphism of Diamond Microcrystals. M.: Nedra, Business Center, 1999. 224 p.
- Kvasnitsa V., Sandler V. The morphology of the diamond crystals grown by a gas-flaming method. Abstr. 5th Inter. Congress on Applied Mineralogy. Warsaw (Poland), 1996. P. 143.
- Liu H., Dandy D.S. Diamond Chemical Vapor Deposition. 1st Edition. Nucleation and Early Growth Stages. William Andrew, 1996. 206 р.
- Son S.I., Chung S.J. Multiply twinning of diamond synthesized by acetylene flame. Z. Kristallogr. 2004. 219, № 8. Р. 494—505. doi: 10.1524/zkri.219.8.494.38330